特点：
结构紧凑，便于硅片的批量处理，大大提高了效率
实现各种制程设备自动化运转(上料、下料)
可短期少量存储不同规格的硅片

优势：
整机由上(下)料段和暂存段组成，用于将硅片送入下一制程，如PSG线。适用于125×125mm和156×156mm硅片。
5道并行，自动交换卡盒。暂存段能一次存储750片(5道×3卡盒×50片/卡盒)硅片。

规格：
硅片大小：125×125mm、156×156mm  
工作高度：1100mm±50mm
厚度：150μm    
传输速度：0.5-16m/min